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廢氣催化燃燒裝置的催化燃燒過程是在催化燃燒裝置中進行的。廢氣先通過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表面而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下氧化，產生二氧化碳和水。
廢氣催化燃燒裝置優點
◎可以降低廢氣的起始燃燒溫度。例如甲醇、甲醛在以氧化鋁為載體的Pt催化劑(Pt/Al2O3)的作用下,室溫下就開始燃燒,而直接燃燒法起始燃燒點通常為300～600℃。
◎燃燒不受碳氫化合物濃度的限制。
◎基本上不會造成二次污染。
◎設備較簡單，投資少，快。
催化燃燒法存在的主要問題是催化劑易中毒和不。易使催化劑中毒的物質有焦油、油煙、粉塵、鉛化合物和硫、磷、鹵族元素的化合物等。為了保持催化劑的活性，一般都采用前處理的辦法，預先除掉有毒物質。近幾年來，含稀土元素的鈣鈦礦結構的復合氧化物催化劑的研制在提等方面有所進展。中國研制的稀土元素催化劑已用于廢氣的治理。
